sf6气体提纯设备的提纯方法！
sf6气体提纯设备的提纯方法！
sf6气体提纯设备主要是采用单向升华的方式，在升华过程中会有一些低温杂质将会随着气流直接进入到真空泵中，导致真空泵损坏，从而降低设备的使用寿命，也会导致运行成本上升。近年来，现有技术中也设置真空泵保护装置，该保护装置为网状，即在腔体和真空泵之间添加数道过滤网。而过滤网为机械式阻挡的一种方式，一些小分子的粉尘还是会吸入真空泵内。本实用新型的目的在于克服现有技术中一些小分子粉尘会进入真空泵，导致真空泵损坏的问题，从而提供一种小分子粉尘不会进入真空泵的sf6气体提纯设备。
为实现上述技术目的，达到上述技术效果，本实用新型通过以下技术方案实现：一种sf6气体提纯设备，包括提纯升华区，真空泵以及真空泵保护装置，所述真空泵保护装置设置在所述真空泵上游，真空泵保护装置为静电除尘式。放电极；释放电荷，附着在漂浮的粉尘上；
集尘电极；释放与所述放电极正负相反的电荷，吸附粉尘。所述放电极释放负电荷，所述集尘电极释放正电荷，所述的集尘电极为板状。所述真空泵保护装置还包括设置在放电极上游的过滤层，所述的过滤层对气流中的粉尘进行粗过滤。
所述的过滤层为网状。所述的提纯升华区设置升华炉体。所述升华炉体依次分为石英舟，高温区，收集区，低温区。还包括真空过渡室，所述真空过渡室设置在所述升华炉体之后，在所述真空过渡室之后连接所述真空泵保护装置。
还包括真空管道，所述真空泵保护装置通过真空管道连接真空泵。本实用新型的有益效果是：(1)本实用新型提供的sf6气体提纯设备，通过在真空泵之前设置一个静电除尘式的真空泵保护装置，静电除尘装置的吸尘率达到99％，从而可以避免小分子粉尘进入真空泵，保证进入真空泵的气体为干净的气体，提升设备的使用寿命。2)本实用新型提供的sf6气体提纯设备，通过在放电极之前接一个过滤层，可以过滤掉一部分大颗粒的粉尘，减少放电极和集尘电极的工作量，进一步的提高了工作效率。
为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下
001-升华炉体，010-石英舟，011-高温区，012-收集区，013-低温区，002-真空过渡室，003-真空泵保护装置，031-过滤层，032-放电极，033-集尘电极，004-真空管道，005-真空泵。一种sf6气体提纯设备，包括依次连接的升华炉体001、真空过渡室002、静电除尘式的真空泵保护装置003、和真空泵005，在真空过渡室002后连接静电除尘的真空泵保护装置003，通过真空管道004连接真空泵005。
在升华过程中，石英舟010内放置有粗糙的有机材料，真空泵005抽真空。升华炉体001加热有机材料随着真空气流的方向流动，一些高温杂质会沉积在高温区011，随着温度的梯度降低，目标物质会沉积在收集区012，一些低温杂质会沉积在低温区013。在这个过程中，还有一些低温杂质也就是有机材料的粉尘不会沉积在低温区013
将会随着真空气流经过静电除尘式的真空泵保护装置003，有机材料粉尘先通过过滤层031的粗过滤网粗过滤，再经过放电极032发生器释放大量负电荷，附着在漂浮的粉尘上，然后集尘电极033释放正电荷，强行吸附粉尘。最后到达真空管路，使干净的气体进入真空泵，从而提升设备的使用寿命。也将会使运行成本下降。
